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IT之家5月28日消息，佳能中国官方宣布，将在2024年6月上旬发售支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光设备新品MPAsp-E1003H。
▲MPAsp-E1003H
IT之家注：FPD即平板显示器（Flatpaneldisplay），大家常见的产品一般可分为LCD、OLED、LED、PDP、ELD、FED、投影显示等不同类型。
▲车载大型特殊显示器（示意图）
佳能表示，这款产品采用了投影光学系统，可实现1.5μm（L／S）的高分辨率，且一次曝光幅度扩大约1.2倍，使生产能力将进一步提升。
据介绍，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，可用于生产使用第8代玻璃基板一次性曝光、用于大型电视等的65英寸面板。
在一块玻璃基板上，如果生产智能手机面板等产品，此前需要6shot曝光，而新产品仅需4shot曝光，生产性能大幅提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，也可以做到无接缝2shot曝光。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约60%，tacttime提升约14%，有效提升了量产效率。
佳能表示，新产品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），还搭载了新开发的非线性补正REI（Real-TimeEqualizingdistortedImage）模块，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现±0.30μm高套刻精度。
此外，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，从而适配各类制造工序的曝光。
这款新产品在形成圆弧光的机构中，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：SlitIlluminanceControl）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。
同时，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的universechuck，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。佳能表示，MPAsp-E1003H通过强化上述制造工序的工艺应对能力，制造质量更加稳定。
